某公司FBCVD法制备新型硅碳负极材料

向多孔碳颗粒的孔隙里通入硅烷气体,通过加热使气体沉淀成硅纳米颗粒分散在多孔碳的孔隙里。多孔碳颗粒的尺寸一般在1到10μm,孔隙里的硅颗粒尺寸一般在100nm以下。

✓ 多孔碳粉体流化设计:流化膨胀与流化料层
✓ 硅烷气在流化料层的反应(停留)时间设计
✓ 硅烷渗透和沉积的耦合调控
✓ 根据量级和速率设计进料方案
✓ 热态出料方案设计

FBCVD硅沉积

FBCVD碳包覆

可以通过前驱体和反应参数调控沉积碳的质量

  • 甲烷生成碳织构程度较高
  • 乙炔和乙烯倾向生成硬碳,沉积温度相对较低
  • 碳氢液滴理论

新型硅碳流化床设备

面向新硅碳负极材料,主要产品包括实验级、中试级和量产级等不同规格的流化床CVD设备。

量产级:
设计产能:50~150kg
典型产能:100kg

研发级:
设计产能:10~30kg
典型产能:20kg

实验级:
设计产能:2~4kg
典型产能:3kg

新硅碳流化床设备规格参数

20公斤新硅碳流化床设备现场图片