向多孔碳颗粒的孔隙里通入硅烷气体，通过加热使气体沉淀成硅纳米颗粒分散在多孔碳的孔隙里。多孔碳颗粒的尺寸一般在1到10μm，孔隙里的硅颗粒尺寸一般在100nm以下。
某公司FBCVD法制备新型硅碳负极材料
✓ 多孔碳粉体流化设计：流化膨胀与流化料层
✓ 硅烷气在流化料层的反应（停留）时间设计
✓ 硅烷渗透和沉积的耦合调控
✓ 根据量级和速率设计进料方案
✓ 热态出料方案设计
FBCVD硅沉积
FBCVD碳包覆
可以通过前驱体和反应参数调控沉积碳的质量
- 甲烷生成碳织构程度较高
- 乙炔和乙烯倾向生成硬碳，沉积温度相对较低
- 碳氢液滴理论
新型硅碳流化床设备
面向新硅碳负极材料，主要产品包括实验级、中试级和量产级等不同规格的流化床CVD设备。
量产级：
设计产能：50~150kg
典型产能：100kg
研发级：
设计产能：10~30kg
典型产能：20kg
实验级：
设计产能：2~4kg
典型产能：3kg
新硅碳流化床设备规格参数
| 型号 | FBCVD-AS020002 | FBCVD-AS125020 | FBCVD-AS300050 | FBCVD-AS600100 |
|---|---|---|---|---|
| 规格 | 实验级（2kg） | 中试级（20kg） | 中试级（50kg） | 量产型（100kg） |
| 建议投料量 | 3~4L（1kg） | 15~30L（5~10kg） | 45~75L（15~25kg） | 90~150L（30~50kg） |
| 新硅碳产能 | 2kg | 10~20kg | 30~50kg | 60~100kg |
| 出料方式 | 间歇 | 热态连续 | 热态连续 | 热态连续 |
| 额定功率 | 20kW | 50kW | 90kW | 150kW |
| 反应气体 | 氮气+硅烷+乙炔（可定制） | 氮气+硅烷+乙炔（可定制） | 氮气+硅烷+乙炔（可定制） | 氮气+硅烷+乙炔（可定制） |
| 反应温度 | 450~900℃ | 450~900℃ | 450~900℃ | 450~900℃ |
