流化床化学气相沉积技术

耦合CVD工艺设计调控过程参数，设计流化质量和气体停留（反应）时间。

超细粉流化多重强化，改善超细粉流化性能。

发展内构件调控大管径流化床粉体流化和气泡质量，设计放大量产型新硅碳流化床设备。

根据量级和材质定制最优进料方案，进料方便顺畅。

设计热态出料方案，实现连续生产，出料更彻底更高效。

借鉴成熟粉体工程方案设计适用于新硅碳粉体工程化可靠实施方案。

与特气企业深度合作，采用特气行业安全标准设计代工全套气路系统。

设计气体压力多重预警防护，炉内温度实时对比监测，试验更安全更放心。

采用先进焊接工艺，焊缝无损检测，罐体保压测试，确保罐体更安全。

自研先进控制系统，实时监测过程运行，图形化显示和交互，人性化操作更简便。

反应过程参数实时显示，数据全记录，加速技术研发。

产线采用工业互联网、智能化新技术打造智能制造数字化工厂。